倚天中文网

第54章 近轴照明模式（第2页）

编辑完成后，展示给华光总工：

“总工，近轴光源照射到掩模后发生衍射的规律，可以用这个方程表达！”

asθ2=2na（1+σ）2na（+1）na

！！！

华光总工看到了这个表达方程！

这么快——

他竟然这么快就编辑出了衍射表达方程？！

华光总工又仔细看了一遍方程，却发现自己也无法全然理解。

不可能——这肯定是他信手乱写的！

华光总工投来怀疑的目光：“苏总工，这个方程看起来很奇怪，而且，没有经过光刻机对焦系统程序验证，恐怕暂时无法采用。”

苏晨：“我们现在就可以将方程输入光刻机对焦系统程序进行验证！”

！！！

当场验证方程！

华光总工将目光投向了任维中，意在征求他的意见。

任维中：“好，按苏总工的想法办，咱们输入程序验证一下。”

任董发话了，工程师们便忙碌了起来，迅速调整好设备。

华光将苏晨编辑的方程，输入到光刻机对焦程序中。

！！！

奇迹出现了——

对焦系统中，入射光的复振幅、光束光场分布、图形弥散斑半径……所有的数据，竟然完全与苏晨编辑的方程逻辑相藕合！！

全场震惊！！

“难道……难道说近轴照明的衍射方程找到了？！”

“如此一来，入射光束和输出光束岂不都能实现强分布？”

“如果真能顺利采用近轴照明的话，那么相移掩模和光瞳滤波两种分辨力增强技术就成功在望了！”